美國api激光干涉儀專業(yè)進(jìn)口
美國api激光干涉儀應(yīng)用:
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
(2)位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計(jì)算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可zui大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到*精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。
(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補(bǔ)償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。
(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。
(5)數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。
美國API激光干涉儀XD Laser儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù),記錄準(zhǔn)確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到蕞小,從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到蕞小。
美國API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù):
1.1D激光主要可以測量定位誤差
2.3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)
3.5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角
4.5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型技術(shù)參數(shù):
1) 線性:0.5ppm .
2) 測量范圍:40米(1D可選80米)
3) 線性分辨力:0.001um.
4) 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5) 蕞大范圍:800角秒
6) 滾動角精度:1.0角秒
7) 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8) 直線度蕞大范圍:500um
9) 垂直度精度:1角秒
10) 溫度精度:0.2攝氏度
11) 濕度精度:5%
12) 壓力精度:1mmHg
美國API激光干涉儀XD Laser的特點(diǎn):
1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2.設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3.可選的無線遙控傳感器蕞長的控制距離可到25米
4.可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機(jī)床動態(tài)特性。
5.全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測量機(jī)床時不需三角架
6.集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間