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激光干涉儀檢測(cè)原理
點(diǎn)擊次數(shù):2484 更新時(shí)間:2020-11-10
 
   激光干涉儀是一種利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測(cè)量?jī)x器,測(cè)量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。也被用來描述使用光波研究位移變化的技術(shù)。這種位移測(cè)量干涉法廣泛應(yīng)用于精密加工中的標(biāo)定和機(jī)械級(jí)運(yùn)動(dòng)控制。

激光干涉儀

  激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測(cè)量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。
  若光程差沒有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
  激光干涉儀是以波長(zhǎng)為基本計(jì)量單位的,多波長(zhǎng)激光器的發(fā)展,是實(shí)現(xiàn)不同長(zhǎng)度“尺子”的基礎(chǔ)。激光器可以穩(wěn)定地輸出多種波長(zhǎng)的激光,利用光學(xué)拍波技術(shù),可以將這些單波長(zhǎng)合成為一組波長(zhǎng)相近、間隔均勻的“合成波長(zhǎng)鏈”。“合成波長(zhǎng)鏈”是一個(gè)塔形結(jié)構(gòu),塔頂是高一級(jí)合成波,其波長(zhǎng)長(zhǎng),塔底則是單波長(zhǎng)。測(cè)量時(shí),干涉儀以不同波長(zhǎng)的激光工作,從長(zhǎng)波開始,逐級(jí)下降,直至單波長(zhǎng)。的測(cè)量結(jié)果是在各種波長(zhǎng)干涉下的一組剩余相位,以此可推導(dǎo)出總測(cè)量長(zhǎng)度,由于每次的測(cè)量值都是剩余相位,與測(cè)量過程無關(guān),儀器因此不需要導(dǎo)向?qū)к墶?/div>
 
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